广东唯是晶圆科技有限公司： 致力提升晶圆缺陷 检测设备性能水平

广东唯是晶圆科技有限公司专注于集成电路及光电领域设备，不断开发出自主可控的技术，已在新会区大泽深江产业区的唯是晶圆科技工业园规模化生产半导体产业中高端装备。

本次创新创业大赛中，该企业的参赛项目是“全自动晶圆缺陷检测（AOI）设备”。该设备凭借其悬浮式晶圆传送，高速高像素扫描功能，以及强大的软件计算存储能力，能够快速检测lC晶圆的缺陷，实现检测结果图像化、数据化、云端实时化，是集成电路生产过程不可或缺的检测设备。

近年来，中国迎来了晶圆产线的扩建潮。据统计，目前国内正兴建17条、规划5条12寸晶圆厂及封测厂共86条，晶圆产品的前、后道检测设备的市场需求将不断扩大，具有很好的发展前景。据介绍，现阶段国产全自动晶圆缺陷检测（AOI）设备性能较为落后。该企业正是看准这个发展机遇，努力朝该领域攻坚，致力提升晶圆缺陷检测设备性能水平，希望在发展壮大的同时，也能为国内半导体产业自主化贡献力量。

（彭晓玲梁佳欣冯洁莹）

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