肇庆高新区企业研制有新突破

西江日报 2020-08-06 01:11

西江日报讯（记者陆志锋特约记者方斌通讯员王振宇吴君）近日，肇庆高新区中导光电设备股份有限公司研制的首台国产11代CDOL（自动线宽测量机）正式交付TCL华星T7工厂，这是中导光电继G8.5代线以下CDOL设备国产化之后又一次重要突破，标志着平板显示高端量测设备（CDOL）的短板已全部补齐。

据悉，中导光电此次交付的CDOL设备，是除AOI系列之外的另一拳头产品。该设备主要应用于平板显示前道制程领域的关键线宽尺寸测量，最高测量精度为亚微米级，重复精度达到20nm，处于国内领先和国际先进水平。